Определение слоя, входящего в состав интерференционного покрытия, максимально влияющего на соответствие спектральной характеристики коэффициента отражения изготовленного покрытия синтезированному

摘要

Проведен анализ влияния возникающих в процессе изготовления отличий оптической толщины слоев, входящих в структуру интерференционного покрытия, от расчетных на спектральные характеристики его коэффициента отражения. Рассмотрен интегральный метод поиска слоя, максимально влияющего на стабильность спектральной характеристики коэффициента отражения покрытия. Полученные в работе результаты выявили связь любого слоя, имеющего отклонения оптической толщины от расчетной, со спектральной характеристикой коэффициента отражения интерференционного покрытия.