АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИНАМИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ

摘要

Описан автоматизированный интерференционный микроскоп, реализующий метод фазовых шагов в динамическом режиме при непрерывном движении зеркала опорного канала. Микроскоп предназначен для измерения высоты профиля поверхности отражающих нестационарных во времени (динамических) объектов с погрешностью до 0.3 нм, динамических процессов в живых клетках с частотой получения фазовых изображений до 30 Гц.