МАТРИЧНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС МЭК-2

Е. В. Спесивцев; С. В. Рыхлицкий; Н. А. Аульченко; В. Ю. Прокопьев

首页> 外文期刊>Приборы и техника эксперимента >МАТРИЧНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС МЭК-2

【24h】

МАТРИЧНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС МЭК-2

机译：矩阵椭圆仪复合物IEC-2

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

获取外文期刊封面目录资料

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

Описан матричный эллипсометрический комплекс МЭК-2 для проведения экспресс-диагностики тонкопленочных микрообъектов по площади измеряемого образца с субнанометровым разрешением по толщине.

机译：描述了IEC-2的基质椭圆形复合物用于表达诊断测量样品区域的薄膜微型，其具有亚基厚度分辨率。

著录项

来源
《Приборы и техника эксперимента》 |2011年第6期|共2页
作者
Е. В. Спесивцев; С. В. Рыхлицкий; Н. А. Аульченко; В. Ю. Прокопьев;
展开▼
作者单位

Институт физики полупроводников СО РАН;

Институт физики полупроводников СО РАН;

Институт физики полупроводников СО РАН;

Институт физики полупроводников СО РАН;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类仪器、仪表;
关键词

相似文献

中文文献
专利

МАТРИЧНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС МЭК-2

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅