ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ СЕТОЧНЫХ ПОЛОСОВЫХ ФИЛЬТРОВ В ДИАПАЗОНЕ 0.3-0.8 ТГц

摘要

Разработаны и изготовлены сеточные полосовые фильтры на центральные частоты 300,450, 600 и 750 ГГц. Фильтры из медной и алюминиевой фольги и фольгированного фторопласта изготавливали методами химического и ионного травления, а пленку алюминия, напыленную на пленку каптона, формировали методом обратной литографии. На медные сеточные фильтры электролитически наносили слой золота. Характеристики фильтров измеряли в миллиметровом, субмиллиметровом и и.к.-диапазонах. Для нижних частот лучшие характеристики получены у фильтров из фольги, а для высших частот - у фильтров с напыленными пленками. Самые меньшие значения потерь пропускания составили 0.13 дБ. Для каскада из четырех фильтров эти потери составили 0.9 дБ. Ослабление и.к.-излучения в области длин волн 2.5-25 мкм составило не менее 11 дБ на один фильтр.