Описан плазменный источник электронов, формирующий пучок ленточной конфигурации в области давлений до 60 мТорр. В качестве генератора плазмы использован разряд с протяженным полым катодом прямоугольной формы. Электроны извлекаются через эмиссионную щель в аноде, перекрытую металлической сеткой. Ток электронного пучка до 1 А, энергия 2-6 кэВ. Представлены характеристики пучка и анализируются условия достижения максимального рабочего давления.
展开▼