Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления

摘要

Описан измеритель высокочастотной мощности, поступающей в газовый разряд магнетронной распылительной системы установки для нанесения тонких пленок. Прибор построен на основе интегрального аналогового перемножителя КР525ПС2А. Диапазон измерения мощности от 10 Вт до 1 кВт; рабочая частота 13.56 МГц; погрешность измерения не более ±3%.