БЛОК ПИТАНИЯ РАЗРЯДА ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА ЭЛЕКТРОНОВ

摘要

Описан блок питания разряда генератора низкотемпературной плазмы на основе разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. Блок обеспечивает работу в стационарном режиме с заданным стабилизируемым (±2%) током разряда до 0.5 А и в импульсном режиме (до 20 А) с учетом особенностей электропитания газовых разрядов.