Автоматизированный интёрферометрический комплекс безконтактного измерения трёхмерного профиля поверхности зеркально отражающих деталей является эффективным средством при решении следующих задач физики и техники поверхности: измерение высот микронеровностей или следов обработки на поверхностях высоких классов чистоты; оценка и измерение параметров шероховатости отражающих поверхностей; решение широкого класса измерительных задач в биологии и промышленности; бесконтактное автоматическое измерение микрорельефа поверхности отражающих объектов, толщины тонких пленок и других параметров поверхности.
展开▼
