ИССЛЕДОВАНИЕ СТАТИЧЕСКИХ И ДИНАМИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЯ НАНО' И МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

摘要

Рассчитаны статические и динамические характеристики пьезодвигателя нано- и микроперемещений для оборудования нанотехнологии и микроэлектроники, построена параметрическая структурная схема пьезодвигателя и определено влияние физических и геометрических параметров пьезодвигателя на статические и динамические характеристики.