Описана конструкция многоканального ионного источника с разрядной камерой внутри полуволнрвого высокочастотного (в.ч.) резонатора, нагруженного спиралью. Резонатор возбуждается петлей, изолированной от корпуса резонатора. Высокочастотный генератор, работающий на частоте 38 МГц, находится под потенциалом "земли". Применение резонатора для в.ч.-разряда облегчает зажигание разряда при низком уровне мощности. Приведены амплитудно-частотные характеристики резонатора на рабочих частотах ионного источника. Исследовано влияние в.ч.-мощности и извлекающего напряжения на ток ионного пучка. Приведены экспериментальные результаты по извлечению ионного пучка при низком уровне в.ч.-мощности, до 100 Вт.
展开▼
