МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОМПОНЕНТ ТЕНЗОРА УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК

摘要

Предложена простая методика определения компонент тензора удельной электропроводности анизотропных полупроводниковых пленок. Выражения, полученные для расчета удельных электропроводностей, получены на основе решения соответствующих краевых электродинамических задач, поэтому не зависят от рода вещества и могут быть применимы для исследования пленок различных анизотропных полупроводниковых материалов. Представленная методика проверена экспериментально.