「FineSAT V」 - 半導体などを高精度検査

摘要

日立パワーソリューションズは、半導体や電子部品内部の微細な欠陥などを、超音波により非破壊で検出·画像化する装置として、「FineSAT」シリーズを提供。近年の高度なニーズに対応するため、従来機「FineSAT III」の機能を強化し、より高精度·高速な検査を可能とする「FineSAT V」（写真）を開発した。