POWER{sup}(ECO)シリーズクライオポンプ－クライオポンプの特徴と省エネ技術の紹介

摘要

半導体製造装置、FPD製造装置等の電子部品製造では真空プロセスが必要不可欠であり、その真空をつくるためにクライオポンプが数多く利用されている。 その用途によって稼働率の向上や初期性能の維持、安全性、信頼性、コスト削減などのさまざまな要求があり、弊社でもこれら要求に答えるべく開発を進めている。 このような中で半導体やFPDなど電子部品等の製造装置も環境に対する配慮、特に「二酸化炭素排出量の削減」を最大の目的とした省エネルギーが求められている。 当然このような製造装置に数多く搭載されているクライオポンプに対しても省エネルギーの要求は強くなってきている。 本稿ではクライオポンプに関する一般的な解説とともに、省エネルギーを主な目的として開発された、POWER{sup}(ECO)シリーズクライオポンプ（写真1）について紹介する。