最新エアドライヤ·ドレン浄化技術－吸着式ドライヤ＝自己再生非加熱方式を中心とした解説

摘要

超乾燥空気は、半導体分野を始めさまざまな分野にて用いられており、そのために吸着式ドライヤが使用されている。そのドライヤの中でも特に自己再生非加熱方式について解説を加え、また同時に、近年環境負荷低減が謳われることに鑑み、「省エネ」などについても紹介する。