空気圧サーボシステムはここまで来た①空気圧の精密圧力制御（精密高速応答レギュレータ）

摘要

本報では空気圧サーボバルブを用いた高精度圧力制御について、その手法を説明する。また、説明した制御手法を用いて開発された空気圧レギュレータについて紹介し、実際に行なった性能評価およびその製品のアプリケーション例について紹介する。