圧縮空気温度制御装置－高精度温度制御要求に対応したナノサーモ

摘要

圧縮空気は各種装置に多様に使用されているが、その主な管理要素は「圧力」と「露点」および「クリーン度」である。 「温度」に関して通常は無管理で昼·夜、夏·冬でかなりの温度変化があるが、成行き任せが実態である。 大半の用途ではこれでも問題はないが、精密加工機、精密計測機等の空気静圧軸受に使用されている場合は、その温度変化が加工·計測精度に大きく影響する。 今後さらに高精度化していく超精密加工機には必ず圧縮空気の高精度温度制御が必要となる。 弗圣违旦`モ」はその要求に十分に対応できる0.01°C制御を可能にした圧縮空気温度制御装置である。