ニーズに応える超精密加工機と活用技術：超精密加工機の開発とその使い方

摘要

携帯電話をはじめとした，各種ディジタル機器の性能向上と低価格化の速さには目を見張るものがある。 これらを支えている技術の一つが，レンズ，プリズム，ミラー，回折格子などの光学素子を用いて光信号を制御する光エレクトロニクス技術である。 これらの光学素子のほとhどはプラスチックやガラスのモールド品であるので，これを大量生産するための金型製作がきわめて重要な役割を担っている。 光学素子の特徴としては，素子全体の大きさは数ミリから数十mmオーダで，その表面を拡大するとサブミクロン～数十ミクロンオーダのマイクロ構造体や曲面で構成されており，その形状精度や面粗さがナノメータオーダであることである。 光の波長を基準として設計されることが多い光学部品は，光源の短波長化や機器のサイズダウンに伴って，ますます要求精度が高まっており，それに伴ってマスタとなる金型の高精度化が進hでいる。 また一方で，ナノオーダの精度が必要な部品は，光エレクトロニクス分野にとどまらず，医療，バイオ，航空宇宙など適用分野も多岐に渡ってきているため，単純な形状だけでなく，複雑な自由曲面などにおいてもナノオーダの精度が必要になってきている。