超高精度位置決めを実現する転がり直動案内機器と位置決めテーブル

摘要

近年，マイクロエレクトロニクス分野などにおいて，最終製品の小型化や高機能化を目的として，精密·微細加工が必要とされており，工作機械，各種製造装置，検査装置や精密測定器をはじめとするさまざまな機械·装置には，今まで以上に高精度な加工や測定が要求されている。装置の高精度化要求に伴い，位置決め機構に使用される位置決めテーブル，さらにはその案内部に組み込まれる直動案内機器においても，高精度な位置決めや極めて高い走行精度が求められるようになっている。本稿では，高精度な機械·装置の案内部に使用される転がり直動案内機器と位置決めテーブルを紹介する。