超精密微細加工機（インテリジェントセンター）NICシリーズの特徴と性能

摘要

今回のJIMTOF 2014においては、従来の設定最小分解能1nmをさらに1/10にした（0.1nm）モデルを展示した。展示機は5軸制御であったが、本稿では、6軸制御マシンの特徴も交えて記述をする。