超音波振動による超精密·微細加工の実用化技術をさぐる：超音波振動付与による切削加工高性能化の可能性

摘要

超音波振動を付与した除去加工技術が新たな展開を見せている。超音波加工そのものは、周知のように振動する工具と材料との間に砥粒を混合した加工液を介在させて、砥粒の衝突によって材料を微少脆性破壊させるのが基本的な加工原理である。硬脆材料の穴あけ加工などに古くから応用されている。近年、他の材料除去プロセスに超音波振動を重畳させて加工性能を向上させることに関心が寄せられている。特集の導入として、本特集の主題となっている超音波振動援用切削を取り上げ、物理現象の複合効果が材料除去プロセスの高性能化を可能にする理由をその効果とともに述べる。複合効果発現の理由が明らかになれば、効果的な応用場面がさらに展開されると思うからである。