成形加工法を用いた大口径高分子光導波路作製

摘要

成形加工法を用いて大口径高分子光導波路を作製した。 マイクロ加工シリコンオリジナルマスターからの転写によってトUv硬化樹脂スタンパーを作製した。 ホットエンボス法によってPMMAにパターン転写することによってクラッドを形成し、溝にコア樹脂を充填することによって光導波路を作製した。 コア径はPOFに対応する100μm～500μmの大口径光導波路を作製した。 伝搬損失は650nmで0.13dB/cmが得られた。 またファイバーガイドや分岐ミラー形状も同様の方法によって作製した。