昇華法による窒化アルミニウム単結晶育成技術の開発

摘要

近年，環境問題という観点から，空気ならびに水の殺菌，浄化のニーズが高まっている。それを達成する手段としては，世界的な水銀使用の削減を目指した流れ（水俣条約の締結）と相まって，既存の低圧水銀ランプではなく環境への負荷が小さい深紫外LEDの使用が期待され，開発が活発化してきている。