1インチ256×192画素磁界集束型冷陰極HARP撮像板の諸特性

摘要

小型で超高感度なハイビジョンカメラの開発を目指して、電界放射陰極アレイに超高感度なHARP光電変換膜を対向配置した冷陰極HARP撮像板の開発に取り組hでいる。 今回、電界放射陰極アレイから放射された電子ビームの広がりに起因した画質劣化を改善するため、磁界によって電子ビームを集束させることのできる新たな撮像板の設計指針を示した。 また、この指針を基に、画素サイズを従来の撮像板の1/3以下とし、かつ、永久磁石からなる磁界集束系を備えた1インチ256×192画素撮像板を試作し、この撮像板では画素サイズに相当する解像度や均一な画質が得られることを実証した。