ポリテトラヲルオロエチレンを用いて物理気相蒸着により形成した有機薄膜のガス吸着特性と薄膜の結晶および分子構造の関係

摘要

ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）はフッ素系樹脂であり，白色の高分子材料である．真空蒸着やスパッタリングなどの物理気相蒸着法によりPTFEを使用したごく薄いフッ素樹脂膜（薄膜）を作製することが可能である小4）．我々は，高周波スパッタリングや真空蒸着により有機薄膜を形成し，薄膜の特性を検討してきた．PTFEの特性を揮発性有機化合物（VOC）ガス検知に応用すべく，水晶微少天秤（QCM）法を活用し，真空蒸着により水晶振動子の電極上に形成したフッ素系有機薄膜を検知膜として，VOCの代表例であるエタノール，およびアセトンガスの吸着特性について調査した．その結果，特に高周波スパッタリングで形成したフッ素系有機薄膜はスピンコート膜（バルク材PTFEと同じ分子構造）と比べてエタノールやアセトンといったVOCガスに対する高い吸着特性を示すことを報告してきた．