超精密研削用砥石の開発（概要）

摘要

本研究は研磨に相当する高品位な仕上げを可能にする研削砥石の開発を目的とする．開発にあたっては天然砥石に着目することとした．ここでは天然砥石の基本構造や天然砥石自体の加工性能について述べる．また，研削加工後の試料の残留応力を調査する方法として，ラマン分光分析を用いることを検討したので，それについても記す．