(Fe_(75)Co_(25))_(75)(Al_(50)Si_(50))_(25)合金薄膜の軟磁気特性と構造

摘要

電子部品の小型化、駆動周波数の高周波化に伴い、高飽和磁化(Ms)，低保磁力(Hc)、低ダンピング定数(α_(eff))を持つ軟磁性材料が要望されている。これまで、Fe(Co)-Al，Fe(Co)-Siをはじめとする鉄系合金の軟磁性特性に関して研究を行ったが、さらなる改善が必要である。一方Fe(Co)-Al-Si合金は、Fe_(60)Co_(12)Al_(12)Si_(16)付近の組成で、零磁気異方性、零磁歪定数を持つことが報告されている。しかし、磁化ダイナミクス特性を含めたFe(Co)-Al-Si合金系に関する報告はほとhどない。本研究では、(Fe_(75)Co_(25))_(75)(Al_(50)Si_(50))_(25)合金薄膜の軟磁気特性を明らかにすることを目的にする。