CoPtCrSiターゲットのリアクティブスパッタリングによるCoPtCr-SiO_2グラニュラー膜の作製

佐々木晋五; 日向慎太朗; 斉藤伸; 高橋研; Kim Kong Tham

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【24h】

CoPtCrSiターゲットのリアクティブスパッタリングによるCoPtCr-SiO_2グラニュラー膜の作製

机译：磁CoPtCr-SiO_2颗粒膜的由CoPtCrSi靶的反应性溅射制备

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リアクティブスパッタリングについての先行研究には，(CoPtCr)-(SiO_2; TiO_2; Cr_2O_3)ターゲットの酸素リアクティブスパッタリングを検討した報告がある．しかしながら，酸素の供給源は酸化物のターゲット素材粉と酸素ガスの2種類あり，酸化物形成過程が不明である．本講演では，酸素の供給源として酸素ガスのみを用いたCoPtCrSiターゲットのリアクティブスパッタリングの検討を行ったので報告する．

机译：对反应性溅射的之前的研究有一个报道，该报告检查了（COPTCR） - （SiO_2; TiO_2; CR_2O_3）目标的氧反应性溅射。然而，氧气源是两种类型的氧化物靶材料粉末和氧气，氧化物形成过程未知。在这篇讲座中，我们报告了仅使用氧气作为氧气来源的COPTCRSI目标反应溅射。

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来源
《日本磁気学会学術講演概要集》 |2013年第37期|共1页
作者
佐々木晋五; 日向慎太朗; 斉藤伸; 高橋研; Kim Kong Tham;
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作者单位

一関高専;

東北大;

東北大;

東北大;

TANAKAホールディングス;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电磁学、电动力学;
关键词

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