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超高真空スパッタリング装置を用いて作製した極薄·高保磁力FePt探針による磁気記録媒体の高分解能·磁気力顕微鏡観察

机译:高分辨率,由非常薄的高矫顽力的FePt探针的磁性记录介质的磁性力显微镜使用超高真空溅射装置制备的

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摘要

我々,秋田大学および日東光器(株)は共同で10kOe以上の高い保磁力を有するFePt探針を開発·製品化し,10nm程度の分解能を実現してきた.本報告では,探針の先鋭化による更なる分解能の向上を図るために,極薄高保磁力FePt薄膜の作製に適する超高真空スパッタリング装置を用いた新たな製造工程でPePt探針を作製して,垂直磁気記録媒体を観察し,探針の空間分解能を評価した.
机译:我们开发了具有高矫顽力,共同矫顽力,共胁迫的高矫顽力的商业化的探针,与10只koe或更多。 在本报告中,为了提高由于探针的锐化而进一步的分辨率,使用适用于制造超薄高机械扫描薄膜的超高真空溅射装置,在新的制造工艺中产生PEPT探针。垂直观察到磁记录介质,并评估探针的空间分辨率。

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