Получение высококачественных пленок на основе манганитана усовершенствованной магнетронной приставке ВУ

摘要

Описана конструкция дополнительного теплового и электрического экрана, предназначенного для повышения качества получаемых пленок в отношении кристаллической структуры и равной толщины. Применение экрана позволяет использовать более мощный источник тепла для нагрева подложки и оптимизировать процесс эпитаксиального роста пленок. Экран одновременно выполняет функцию дополнитeльногo анода, который изменяет динамику плазмы в рабочем пространстве и гомогенизирует радиальное распределение плотности потока нейтральных частиц от мишени к подложке.