Неупругие потери энергии при однократных и двукратных соударениях ионов Аг+ keV энергии c мишенями

摘要

Методом спектроскопии медленных рассеянных ионов определены значения неупругих потерь энергиипри рассеянии ионов Аг+ c первоначальной энергией Ео = 5 keV на мишенях из Ве, C, А1, Si, Ge и In.Несмотря на то что подавляющее большинство прикладных исследований по анализу элементного состава иструктуры материалов для современной электроники выполнено c использованием пучков ионов Аг+, данныхпо неупругим потерям для этик бомбардирующих частиц крайне мало.