ПРОГРАММНЫЙ КОМПЛЕКС BARD ДЛЯ АНАЛИЗА СТРОЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ПО ДАННЫМ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ

摘要

Рассмотрены основные принципы построения программного комплекса (BARd)) — базовый анализ рефлектометрических данных (Basic Analysis of Reflectometry Data), созданного с целью получения единого (стандартизованного) инструментария для анализа строения тонких многослойных пленок и наноструктур различной природы по данным рефлектометрии. Программный пакет содержит как традиционно используемые процедуры обработки данных рефлектометрии, так и оригинальные авторские разработки, основанные на новых методах проведения и анализа рефлектометрических экспериментов. Дан обзор структуры пакета, его функциональных возможностей, примеров ис- пользования и перспектив развития.