АЛМАЗОПОДОБНЫЕ НАНОКОМПОЗИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ α-С:Н:Сг -СТРУКТУРНОЕ СОСТОЯНИЕ, МЕХАНИЧЕСКИЕ И ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОИСТВА

摘要

Приводятся результаты; комплексного исследования структуры, фазового и химического состава, микротвердости, наномеханических и трибологических свойств легированных хромом покрытий гидрогенизированного аморфного углерода. α-С:Н:Сг, полученных магнетронным распылением хрома в смеси Ar + С_2Н_2 + N_2 при различных содержаниях азота и ацетилена. Найдено, что углерод в полученных покрытиях представляет собой неупорядоченную смесь областей с тетраэдрической (sp~3) и гексагойальной (sp~2) координацией углеродных атомов. При этом легирующий металл в покрытии представлен наноразмерными включениями металлического хрома и его карбидных и нит-ридных фаз. Дополнительное легирование азотом, ведущее к образованию нитридов хрома, позволяет улучшить микромеханические и трибологические характеристики изученных покрытий.