Об особенностях ионно-инициированных процессов при импульсном лазерном осаждении покрытий МоSе2_ в импульсных электрических полях

摘要

По результатам экспериментов и математического моделирования определе-ны энергетические характеристики ионного пучка при импульсном лазерном осаждении слоев МоSе_2 в условиях подключения высоковольтных импульсов положительной полярности к лазерной мишени. Показана возможность нанесення покритий МоSе2_, ассистированного имплантацией ионов с энергией до 1ООкеУ, на ~(57)Fе-содержащую подложку. Анализ глубинного распределения атомов Мо, Sе и ~(57)Fе и фазового состава поверхностного слоя указывал на доминирование массопереноса в термических пиках и существенное влияние ?ударного" воздействия ионов на структуру этого слоя на наноуровне, проявивше?ся в образовании нанокомпозитного слоя с включениями специфической гексагональной фаэЫ FеSе. Полученные результаты демонстрируют принципи-ально новые возможности усовершенствованной лазерной методики для регу-лирования процессов получения твердосмазочных покритий с улучшенными свойствами.