Методом синхронного термического анализа (СТА) исследована термоди-намика процессов, протекающих, при росте и отжиге сегнетоэлектрическихненок цирконата-титаната свинца (ЦТС). Пленки были получены методом ВЧ-магнетронного распыления, отжигались на воздухе и в инертной атмосфере аргона при температуре 20-600°C и атмосферном давлении. Выло показано,что в процессе отжйга ненки в среде, содержащей кислород (на воздухе),происходит изменение энтальпии и массы системы, что связано с присутствиемкислорода, в то время как при отжиге-в инертной атмофере аргона никакихизменений в пленке ненаблюдалось. Доказано, что данное изменение связанос переходом оксида свинца в ортонюмбат -свинца в объеме ненки ЦТС.Экспериментальное показано, что данныйпереход приводит к существенномуизменению структуры сегнетоэлектрических пленок, На основе этих данных был предложен механизм изменения структуры, происходящего - приотжигененок ЦТС.
展开▼
