ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ И ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОНОВ В ПЛАЗМЕ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ СПЕКТРОСКОПИИ И СТОЛКНОВИТЕЛЬНО-ИЗЛУЧАТЕЛЬНОЙ МОДЕЛИ АРГОНА

摘要

Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Аг). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Аг и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы.