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フラット·パターニング法を用いて作製したL_(10) FePtRh強磁性-反強磁性パターンにおける原子拡散幅の評価

机译:使用平板图案化方法制备L_(10)FEPTRH铁磁 - 反铁磁图案的原子扩散宽度评价

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摘要

現在様々なドットパターン作製法が提案されている中,本研究では第三元素の局所添加による磁性相変化を利用したフラット·パターニング法に着目してL1_0-FePtRh強磁性-反強磁性パターンを作製し,TEM付属のEDXを用いたナノスケールでの詳細な組成分析を行い,ドット近辺における原子拡散の評価を行った.
机译:虽然已经提出了各种点图案制作方法,在本研究中,我们专注于通过磁相改变通过局部添加第三个元素的平板图案化方法,专注于L1_0-FEPTRH铁磁 - 反铁磁图案。纳米尺度的详细成分分析分析执行连接到TEM的EDX,并在点附近评价原子扩散。

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