Flashメモリ：その動作原理と最新開発動向

摘要

メモリーカードから携帯端末、AV機器、PC、サーバーに至るまで、様々なところでFlashメモリーが利用されています。HDDやODDと異なり、半導体内の電荷移動のみにより動作するFlashメモリはNOR型という熱電子を主に用いるタイプと、NAND型というFNトンネル電子を用いるタイプに大別することができます。本稿前半では、その両者を動作原理から比較し、その応用範囲の違いを述べます。また、後半では比較上大きな市場を有するNAND型のさらなる微細化·大容量化のための課題と解決への種々のアプローチを紹介するとともに、NAND市場の今後の広がりについて述べていきます。