青紫色レーザを用いた2層相変化光ディスクの界面膜-酸化ジルコニウム系材料-

摘要

ZrOヱ系誘電体材料は、青紫色レーザを用いた相変化光ディスクの界面膜として優れた性能を示す。 ZrO_2系膜は、①波長405nmで高い透明性をもつ、②相変化記録膜との優れた密着性をもつ、さらに③記録時には半透明な記録層（Ll）のレーザ入射側に位置する界面膜の最高温度は約700°Cにも達するが（熱計算結果）、本材料は1000°C以下で結晶化や分解が生じないことが昇温脱離法により確かめられた。 本材料薄膜を、2層光ディスクのレーザ入射側に位置するLlの界面膜に採用し、50％以上の高い光透過率と0.8以上の大きな反射率コントラストを実現した。 また、動的評価により、6.7％のジッタと10000回以上のサイクル回数を得た。