ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОДЛОЖКИ НА АДГЕЗИОННЫЕ СВОЙСТВА ВОЛЬФРАМОВЫХ И МОЛИБДЕНОВЫХ ПОКРЫТИЙ НА СТЕКЛЕ

摘要

Исследовано влияние режимов нанесения покрытий методом магнетронного распыления на величину адгезии этих покрытий к стеклу. С увеличением толщины молибденового покрытия величина его адгезии к стеклу равномерно растет. В то же время после отжига при температуре 750°С наибольшая величина адгезии была у самого тонкого покрытия. Для вольфрамовых покрытий максимальное усилие отрыва было при минимальной толщине покрытия и в дальнейшем с ростом толщины она менялась не монотонно. Целью настоящих исследований была отработка режимов осаждения покрытий на неметаллы с получением алюмоматричных композиционных материалов.