ВЛИЯНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ВОДОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСИ N_2-H_2

摘要

Тлеющий разряд шюскопараллельной геометрии зажигался в азотно-водородной смеси (N_2-H_2) при токах 10 и 20 мА. Измерена функция распределенияэлектронов по энергиям (ФРЭЭ) для различных концентраций водорода. В области положительного столба ФРЭЭ оказалась максвелловской, в то время как в областях катодного падения и отрицательного свечения, наблюдается немаксвелловская ФРЭЭ. Для измерения распределений плотности плазмы и электронной температуры вдоль разряда при различных давлениях газа и концентрациях водорода использовались ленгмюровские зонды. Обнаружено, что электронная температура возрастает с увеличением концентрации H_2 и убывает с увеличением расстояния от катода и давления газовой смеси. С увеличением расстояния от катода, плотность ионов сперва убывает, в то время как плотность электронов возрастает. При дальнейшем приближении к аноду, плотности электронов и ионов остаются примерно постоянными. При разных концентрациях H_2 плотности электронов и ионов убывают с увеличением давления смеси. Плотности как электронов, так и ионов слабо убывают с увеличением концентрации H_2.