Электрические характеристики высокочастотного емкостного разряда в аргоне и водороде

摘要

Исследуется симметричный высокочастотный (13.56 МГц) разряд низкого давления. Электрические характеристики разряда в чистом аргоне и водороде определялись с помощью осциллограмм тока и напряжения. Плотность электронов измерялась одиночным зондом. В рамках однородной модели высокочастотного разряда вычислялись электрические характеристики разряда, а также определялось их изменение при разных давлениях газа и подводимой мощности.