机译:硅膜的沉淀使用气体气体等离子体化学方法:实验和气体动力学建模
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН;
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН;
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН;
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН;
свободная струя; реактор; моделирование; метод DSMC; тонкие пленки кремния; электронно-пучковая плазма; плазмохимическое осаждение;