テラヘルツベクトルネットワークアナライザ計測技術－高確度·高安定な測定の実現

摘要

本稿では、近年利用が進むテラヘルツ帯のベクトルネットワークアナライザ（VNA）について、その高精度化を実現するセットアップおよび不確かさ解析について解説する。テラヘルツ帯VNAは、システム構成や測定原理は、RF、マイクロ波帯やミリ波帯のVNAと同じである。しかし、取り扱う周波数が非常に高いため、部品一つの精度やセットアップによっても性能を大きく左右する。測定を高精度に実現する方法を解説する。