高電子移動度トランジスタを用いたテラヘルツ受信器の高感度化と帯域幅の測定

摘要

本研究では、高い電流感度の実現を目指し、平面型のボウタイアンテナに短チャネルのHEMTを集積したテラヘルツ受信器を提案し作製したので報告する。短チャネル効果抑制のためのPt染み込みゲートを用い、デバイスに280GHz信号を照射し測定したところ、ゲート長が50nmのものではおよそ5A／Wの高い電流感度が得られた。次に、デバイスの帯域幅の測定をUTC-PDをRFとし周波数逓倍器をLOとしたヘテロダインにより行った。UTC-PDの周波数を変えながら中間周波数信号強度を測定していったところ、26GHzの非常に広い帯域幅が得られた。