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机译:Ar / CH4混合气中HFCVD添加N2对纳米晶金刚石膜的影响
Hot filament CVD; Nanocrystalline; Diamond films; Electron microscopy;
机译:Ar / CH4混合气中HFCVD添加N2对纳米晶金刚石膜的影响
机译:富氢CH4 / H-2 / Ar / B2H6混合气体沉积的氢掺杂硼掺杂纳米晶金刚石薄膜的空间异质电学和电化学特性
机译:在CH3OH / Ar,C2H5OH / Ar,CH4 / Ar和CH4 / O-2 / Ar气体混合物的高密度等离子体中干蚀刻钯薄膜
机译:压力对Ch4 / H2 / Ar混合气热丝CVD技术沉积纳米晶金刚石膜的影响
机译:氮化铝镓/氮化镓高电子迁移率晶体管和4H-碳化硅异质结二极管中的纳米晶金刚石薄膜集成。
机译:使用He / H2 / CH4 / N2气体混合物通过微波等离子体化学气相沉积法合成超光滑纳米结构金刚石膜
机译:空气中添加CO2 / N2 / Ar对层流CH4 /空气扩散火焰升空影响的数值研究