マイクロ波プラズマの光源応用－アンテナ励起型マイクロ波放電ランプを中心に－

摘要

高輝度放電（H旧）ランプでは，数気圧以上の封入ガスを長時間にわたって安定に放電させることが求められる．従来の電極を使う放電では，電極現象に起因する電極消耗と発熱や封入物制限などの種々の要因がランプ特性のさらなる改善を制限している．アンテナの微少ギャップに集積するマイクロ波電界を利用すると高圧マイクロ波放電を維持できる．この放電はプラズマ体積の小さな小型HIDランプに適しており，光制御性に優れた長寿命の点光源開発の可能性が開かれる．