真空技術のコツ

市村 正也

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机译：真空技术提示

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真空技術とは気体を扱う技術であることを説明し,気体分子の運動について簡単に解説します.それから,代表的な真空ポンプ(油回転ポンプ.ターボ分子ポンプ.クライオボンぺ)について,動作原理と使用上注意すべきことを述べます.

机译：真空技术解释说，它是一种处理气体的技术，并简要描述气体分子的运动。然后，代表性真空泵（油旋转泵。涡轮分子泵。涡轮分子泵。低低温）使用我们应该小心。

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来源
《应用物理》 |2016年第1期|共4页
作者
市村正也;
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作者单位

名古屋工業大学;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类应用物理学;
关键词
vacuum technology; viscous flow; molecular flow; rotary pump; turbomolecular pump; cryopump;

机译：真空技术;粘性流动;分子流动;旋转泵;涡轮分子泵;低温泵;

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