ナノバ夕ーンー括転写を可能にするナノインプリント技術の開発と産業応用

摘要

ナノインプリント法の種類と，その基本的プ口セスならびに多様なシーズについて紹介する．熱ナノインプリント法は，加工対象の範囲は広く，樹脂のみならガラス，有機半導体材料，セラミックなど，さまざまなナノテク材料に及ぶ.パ夕ーン形状と成型性などについての基本事項を述べる．一方．光ナノインプリント法は，プ口セス時間が短く生産性に優れている，モールドへの樹脂の充塡性と光硬化プ口セスの物理現象についても解説する．さらに，リバーサルナノインプリント法やハイブリッドナノインプリント法による次元構造やマイク口·ナノ混在構造の作製など，ナノインプリント技術の幅広いシーズについても紹介する．