高次近似の輸送係数推算による誘導結合型酸素熱プラズマの数値解析

摘要

高周波（RF）熱プラズマの重要な特徴は，大きな直径のプラズマであること，およびガス流速がアークプラズマに比べ一桁程度低いことである。 そのためにプラズマ内における反応物質の滞馴寺間が長くなり，化学反応などの進行を充分に行うことができる。 さらに，無電極放電であるため，酸化雰囲気や還元雰囲気を自由に選択することができる。 材料合成においては，電極物質がプラズマ中に混入しないことも大きな利点である。