高真空溶射技術一溶射／蒸着ハイブリッドプロセス

摘要

金属の表面処理法には目的に応じて種々の方法が利用されているが，近年，環境問題と高機能化の観点からドライプロセスが注目されており，実際に広く工業界で実用化されている。 このドライプロセスの代表的なものが，溶射と蒸着である。 溶射は．主として耐熱·耐摩耗·耐腐食目的に大型部材への厚膜·商連披裸が可能な方法として，航空楓　産業用ガスタービン，製鉄　 自動車などの分野で括用されており，蒸着は．主として薄膜の機能膜（光·電気ノ電子·機械的性質·装飾）被覆が可能な方法として，光学機器，電気／電子デバイス．工見　 機械などの分野に応用されている。しかし，近年，生産性向上や機能性向上あるいはその両者の観点から，それぞれの表面処理法の高度化∴多様化および複合化が進hでいる。 本報では，新しい減鱒溶射技術である滴英空港射技術を主体に，このような新しし衰面処垣技術の開発の現汎称に溶射と蒸着を複合化した．新技術について解説する。